檢測認(rèn)證人脈交流通訊錄
LASERTEC 光刻工藝檢測裝置 LX530
- 這真不是您需要的產(chǎn)品?
- 品 牌:
- LASERTEC
- 主要規(guī)格:
- 高S/N撮像信號により高感度CD測定実現(xiàn) 高速撮像のためウェハ全面測定が可能 下地パターンの影響をキャンセルできる獨自の光學(xué)系 業(yè)界初のCDU検査?分類機(jī)能搭載
- 用 途:
- リソグラフィ工程におけるウェハ面內(nèi)?ショット內(nèi)?チップ內(nèi)のCD分布管理 エッチング工程におけるウェハ面內(nèi)?ショット內(nèi)?チップ內(nèi)のCD分布管理 ウェハ外周部CDのSPC管理
- 特長
高S/N撮像信號により高感度CD測定実現(xiàn)
高速撮像のためウェハ全面測定が可能
下地パターンの影響をキャンセルできる獨自の光學(xué)系
業(yè)界初のCDU検査?分類機(jī)能搭載
用途
リソグラフィ工程におけるウェハ面內(nèi)?ショット內(nèi)?チップ內(nèi)のCD分布管理
エッチング工程におけるウェハ面內(nèi)?ショット內(nèi)?チップ內(nèi)のCD分布管理
ウェハ外周部CDのSPC管理
深圳京都玉崎株式會社
- 地址:
- 江蘇蘇州市高新區(qū)竹園路7號中梁香緹商務(wù)廣場2棟1201室
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