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  • 表面成分分析化學(xué)價(jià)態(tài)異物分析深度刻蝕檢測(cè)

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  • 對(duì)應(yīng)法規(guī):根據(jù)客戶(hù)需要
    CNAS認(rèn)可項(xiàng)目:是
  • X射線光電子能譜儀(XPS) 俄歇電子能譜儀(AES) X射線光電子能譜利用光電效應(yīng)的原理,測(cè)量X射線激發(fā)出的光電子能量和計(jì)數(shù),對(duì)樣品表面幾個(gè)納米深度的范圍內(nèi)進(jìn)行半定量的成分和化學(xué)態(tài)分析;俄歇電子能譜利用電子激發(fā)出的俄歇電子,對(duì)表面進(jìn)行微區(qū)的成分和化學(xué)態(tài)分析。XPS和AES結(jié)合離子濺射還可以對(duì)多層膜等樣品進(jìn)行深度剖析,測(cè)得每層的成分、化學(xué)態(tài)以及相應(yīng)的厚度。 測(cè)試范圍與服務(wù)項(xiàng)目:各種固體表面的元素成分、化學(xué)價(jià)態(tài)、分子結(jié)構(gòu)分析和深度剖析等。 掃描電子顯微鏡(SEM) X射線能譜儀(EDS) 掃描電子顯微鏡利用二次電子或背散射電子成像,對(duì)樣品表面放大一定的倍數(shù)進(jìn)行形貌觀察,最大放大倍數(shù)可達(dá)30萬(wàn)倍,同時(shí)利用電子激發(fā)出樣品表面的特征X射線來(lái)對(duì)微區(qū)的成分進(jìn)行定性定量分析。 測(cè)試范圍與服務(wù)項(xiàng)目:各種固體材料的形貌分析、微區(qū)化學(xué)成分檢測(cè),樣品成分的線分布和面分布分析。

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