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俄歇電子能譜 (AES, Auger)測試，表面形貌觀察測
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對應法規(guī)：依據(jù)所測試項目要求
CNAS認可項目：是 - 俄歇電子能譜 (AES, Auger) 俄歇電子能譜(AES、Auger)是一種利用高能電子束為激發(fā)源的表面分析技術. AES分析區(qū)域受激原子發(fā)射出具有元素特征的俄歇電子。 AES電子束可以掃描一塊或大或小的表面. 它也可以直接聚焦在小塊表面形貌上（半導體產(chǎn)業(yè)經(jīng)常要求這樣）。聚焦電子束斑到10nm或更小的直徑使得AES成為小表面形貌元素分析的非常有用的工具。此外，它能夠在可調整的表面區(qū)域內(nèi)柵蔽電子束從而控制分析區(qū)域的尺寸。 當用來與濺射離子源的結合時, AES能勝任大、小面積的深度剖面。 當與聚焦離子束(FIB)一起使用時,它對于截面分析是很有用的。 應用范圍： ? 缺陷分析 ? 顆粒分析 ? 表面分析 ? 小面積深度剖面 ? 工藝控制 ? 薄膜成分分析 AES優(yōu)點： ? 小面積分析（30納米） ? 良好的表面靈敏度 ? 良好的深度分辨率 表面分析技術利用電子、光子、離子、原子、強電場、熱能等與固體表面的相互作用，測量從表面散射或發(fā)射的電子、光子、離子、原子、分子的能譜、光譜、質譜、空間分布或衍射圖像，得到表面成分、表面結構、表面電子態(tài)及表面物理化學過程等信息的各種技術，統(tǒng)稱為表面分析技術。 表面組分分析包括表面元素組成、化學態(tài)及其在表層的分布測定等。后者涉及元素在表面的橫向和縱向(深度)分布。 表面分析特點： 表面是固體的終端，表面向外一側沒有近鄰原子，表面原子有部分化學鍵伸向空間，形成“懸空鍵”。因此表面具有與體相不同的較活躍的化學性質。 表面指物體與真空或氣體的界面。 表面分析通常研究的是固體表面。表面有時指表面的單原子層，有時指上面的幾個原子，有時指厚度達微米級的表面層。
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